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Forschungsbericht]

SPENSER - Heiße-Lumineszenz-Spektroskopie nichtstrahlender Rekombination in Silizium,

Projektbeschreibung:
Rekombination bestimmt die elektronischen Eigenschaften und damit die Leistungsfähigkeit eines halbleiterbasierten Bauteils. Das DFG-Projekt „Spenser“ widmet sich der Untersuchung der physikalischen Eigenschaften der Rekombination aufgrund von Materialverunreinigungen Die für den technologischen Einsatz wichtigen elektronischen Eigenschaften von indirekten Halbleitern wie z.B. Silizium werden durch die nichtstrahlende Rekombination angeregter Ladungsträger, u.a. über Defektniveaus in der Bandlücke, wesentlich beeinflusst. Details über den physikalischen Mechanismus der nichtstrahlenden Rekombination, der im Wesentlichen über Augerprozesse stattfindet, sind noch nicht vollständig erforscht. Zum ersten Mal steht heute experimentelle Gerätschaft zur Verfügung, die ihre direkte Untersuchung über die Messung der heißen Lumineszenz auf kurzen Messzeitskalen ermöglicht und somit die Abdeckung eines großen Parameterraums mit statistischer Relevanz erlaubt. Das Ziel des vorgeschlagenen Projekts ist es, auf diese Weise die Feinstruktur der heißen Lumineszenz von Auger-Ladungsträgern in Silizium, die bei Auger- und Defekt-Augerrekombination erzeugt werden, zu untersuchen und Lücken im physikalischen Verständnis der Rekombinations- und Relaxationsmechanismen zu füllen. Das Projekt legt die Grundlagen für eine neue Methodik der Spektroskopie von Defektniveaus innerhalb der Bandlücke mit bislang unerreicht niedrigem Detektionslimit, welches das Potenzial birgt bisherige Standardanalysemethoden der Halbleiterforschung zu ergänzen oder sogar zu ersetzen.
Projektlaufzeit:
Projektbeginn: 01.01.2020
Projektende: 30.06.2022
Projektleitung:
Heinz F

Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

Finanzierung:

  • 271.905 €, DFG

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