Diamantscheiben für die Mikro-elektromechanische Wandler, CDISK

Im Rahmen des durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft geförderten Projekts: "Diamond disk micro-electro-mechanical transducers (CDISK)” geht es um die Erforschung und Entwicklung von mikromechanischen Resonatoren, die bei Frequenzen von eingen Gigahertz Gütefaktoren von 1000 und mehr erreichen können. Diese Resonatoren werden mit Hilfe von Diamant-Mikroplättchen realisiert, die mit Hilfe von piezoelektrischen Schichten aus AlN oder ScAlN zur Oszillation angeregt werden können. Aufgrund der hohen Steifigkeit der Diamantplättchen und ihrer definiert einstellbaren, kreisförmigen Geometrie, werden mechanischen Schwingungen bei hohen Frequenzen und sehr hohen Güten erzielt, die Entlang des Umfangs der Plättchen geführt werden. Die Forschung und Entwicklung ist durch den Bedarf an miniaturisierten Hochfrequenz-Bandpassfiltern in der nächsten Generation von Smart Phones motiviert.

Tel: 20354091
Email: oliver.ambacher@inatech.uni-freiburg.de

Projektbeginn: 01.07.2017
Projektende: 30.06.2020

Ambacher, O

Inst. f. Nachh. Technische Systeme
Prof. f. Leistungselektronik

Dr. Lebedev (Fraunhofer IAF), Prof. Fiederle (FMF)

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