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Forschungsbericht]

Porentwicklung in Metallassistiert, chemisch geätztem (MACE) porösem Silizium

Projektbeschreibung:
The project is focused on a deeper understanding of catalyst migration and pore evolution in metal-assisted-chemically etched (MACE) porous Si by Atomic Layer Deposition-Fill-Etch-Imaging (AFEI).

Ansprechpartner: Zacharias M
Tel: 0761 203-7421
Email: zacharias@imtek.de
Projektlaufzeit:
Projektbeginn: 01.05.2014
Projektende: 31.12.2018
Projektleitung:
Zacharias M
Stellvertretung: Hiller D.
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Nanotechnologie
Prof. Dr. Margit Zacharias
Georges-Köhler-Allee 103
79110 Freiburg

Telefon: 203-7421
Fax: 203-7422
Email: zacharias (at) imtek.uni-freiburg.de
http://www.imtek.de/nanotechnologie/
Schlagworte:

    Nano, Nanotechnology, Materials, Nanomaterials, Nanostructures, Silicon, Metal, Etching, Porous Silicon, Atomic Layer Deposition

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