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Porentwicklung in Metallassistiert, chemisch geätztem (MACE) porösem Silizium
Projektbeschreibung:
The project is focused on a deeper understanding of catalyst migration and pore evolution in metal-assisted-chemically etched (MACE) porous Si by Atomic Layer Deposition-Fill-Etch-Imaging (AFEI).
Ansprechpartner: Zacharias M
Tel: 0761 203-7421
Email: zacharias@imtek.de
Projektlaufzeit:
Projektbeginn: 01.05.2014 Projektende: 31.12.2018
Projektleitung:
Zacharias M
Stellvertretung: Hiller D.
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Nanotechnologie Prof. Dr. Margit Zacharias Georges-Köhler-Allee 103 79110 Freiburg
Telefon: 203-7421 Fax: 203-7422 Email: zacharias (at) imtek.uni-freiburg.de
http://www.imtek.de/nanotechnologie/
Schlagworte:
Nano, Nanotechnology, Materials, Nanomaterials, Nanostructures, Silicon, Metal, Etching, Porous Silicon, Atomic Layer Deposition
Aktueller Forschungsbericht
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