3C Vertical Hall Sensors

Ziel dieses Projektes ist die Weiterentwicklung des 3-Contact-Vertikalen-Hall-Sensors (3C-VHS) und der dadurch ermöglichten Systeme. Die Kombination von vier 3C-VHS-Elementen verkörpert die bisher symmetrischste Variante eines vertikalen Hallsensors. Weitere wissenschaftliche Herausforderungen betreffen die Untersuchung der Geometrieabhängigkeit des einzelnen 3C-VHS inklusive der Stromsättigungseffekte an den Kontakten, die schlüssige Modellierung der Bauelemente inklusive ihres Zeitverhaltens, die Integration von Anordnungen von 3C-VHS-Elementen zur Messung von beiden in-plane Komponenten des Magnetfeldes sowie die Untersuchung und Ausweitung der Grenzen der Sensoren im Frequenzbereich als Teil eines on-Chip-Gesamtsystems. Dabei ist zu berücksichtigen, dass die 3C-VHS mit den etablierten Technologien von MICRONAS kompatibel sein müssen. Nur dadurch lässt sich die unproblematische Integration von planaren und vertikalen Hallsensoren zu 3D-Magnetfeldsensoren gewährleisten, wie sie Micronas anstrebt. Der Entwurf der 3C-VHS soll daher hinsichtlich Offset, Sensitivität, Bandbreite, Dynamik, Leistungsverbrauch und Fläche im Hinblick auf die Integration in 3D-Magnetfeldsensorsysteme optimiert werden.

Weitere Informationen: http://www.imtek.de/material
Ansprechpartner: Prof. Dr. Oliver Paul
Tel: +49 761 203 7191
Email: paul@imtek.de

Projektbeginn: 2012
Projektende: 2014

Prof. Dr. Oliver Paul
Stellvertretung: Dr. Patrick Ruther
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Materialien der Mikrosystemtechnik
Prof. Dr. Oliver Paul
Georges-Köhler-Allee 103
79110 Freiburg

Telefon: +497612037190
Fax: +497612037192
http://www.imtek.de/material/

• Christian Sander

• Micronas GmbH, Firma